展会邀约丨盛夏八月,太湖之滨,迅音科技在CSEAC 2026静候您的光临

2026-08-24
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盛夏八月,相聚太湖之滨,共话半导体产业新发展!2026年8月31日—9月2日,第十四届半导体设备材料及核心部件展(CSEAC 2026)将锡太湖国际博览中心举办。

 

迅音科技将携多款超声波流量传感器亮相展会,诚邀您莅临B3-440展位交流探讨。针对半导体制造过程中不同介质、管路及工艺条件下的流量监测需求,我们将现场展示多款产品,并与行业伙伴深入交流相关应用与技术需求。

01

适配多种流量测量需求

 

半导体制造的多个关键工艺环节均涉及液体输送与流量监测。面对不同的介质特性、流量范围、管路材质及工艺条件,对流量测量也提出了不同要求。

 

迅音科技基于超声波流量测量技术,提供非接触式直通式微小流量测量等多种产品方案,满足不同半导体应用场景的流量监测需求。

 

 

02

CS系列·外夹式流量传感器

 

 

CLAMP-ON 非接触式设计

传感器夹装于PFA、PTFE等洁净塑料管路外壁,通过超声波时差差法实现非接触式流量测量一一无切断管路、不接触工艺液体,是半导体湿法工艺与化学液输送的理想之选。

  • 耐腐蚀壳体:适用腐蚀性化学介质及严苛工业环境,长期稳定于酸碱工况。

  • 精准测量:软硬件双重优化,针对塑料管路声学特性深度调校,稳定准确。

  • 安全卫生·零交叉污染:超声波穿透管壁测量,传感器不接触液体,消除污染与泄漏风险,满足洁净工艺要求

 

03

TPD/TPK系列·直通式流量传感器

 
直通式超声波流量传感器,管内无测量元件、密封件及机械运动部件,流道畅通,可减少压降、泄漏、堵塞与磨损风险,降低维护需求,适用于半导体冷却系统、化学药液、研磨液等应用场景。
  • 液流畅通管路内部无阻碍,有效降低压力损失与堵塞风险

  • 可靠耐用:内部无机械运动部件,减少磨损与维护需求

 

 

04

TAD · 全不锈钢设计 | TGU · 低流量精准测量

 

 

面向不锈钢管路及低流量等测量需求:TAD采用全不锈钢结构设计,具备更高的机械强度与耐压能力;TGU专注低流量精准测量。进一步满足半导体、液冷等行业的多样化应用需求。

 

- 测量管路全不锈钢,结构坚固耐用

- 管路无阻碍,液流畅通、无堵塞

- 集成显示屏与电路,紧凑便利

- 卫生级快装卡箍接口,便于拆装

 

- U型流路,专精低流量精准监测

-可测低至1mL/min,分辨率±0.05mL/min

- 接液材质PEEK,耐腐蚀、洁净

- 多模式输出:485/脉冲/电流/电压/频率

 
 
 
 

  

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