不破管、不熔接、不污染
半导体PFA管路外夹式液体流量监测方案
SEMICONDUCTOR
可应用于
——
① 湿法清洗设备
监测化学品供液管路及DI水漂洗管路的实时流量
② 涂胶/显影设备
监测光刻相关化学液供液、显影液等工艺介质的供液流量
③ CMP工艺
监测Slurry供液管路中的流量状态
④ 化学品供应系统（CDS）
监测酸、碱、有机溶剂以及其他高纯化学品的流量
面向半导体湿法清洗、CMP、化学品供应系统等高纯流体应用，提供PFA管路外夹式超声波流量监测方案，实现化学品、DI水及Slurry等流体的精准测量，保障半导体设备稳定运行。
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